招標(biāo)正文

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公告概要：

　　 (略) 有限公 (略) 上 (略) 的委托，就“張江實(shí)驗(yàn)室（ (略) 上 (略) ）硅光子市級(jí)重大專項(xiàng) * mm硅光中試平臺(tái)拓展和成套工藝開發(fā)晶圓自動(dòng)清洗系統(tǒng)和晶圓片噴霧清洗設(shè)備采購(gòu)項(xiàng)目”項(xiàng)目（項(xiàng)目編號(hào)： *** ）組織采購(gòu)，評(píng)標(biāo)工作已經(jīng)結(jié)束，中標(biāo)結(jié)果如下：

* 、項(xiàng)目信息

項(xiàng)目編號(hào)： ***

項(xiàng)目名稱：張江實(shí)驗(yàn)室（ (略) 上 (略) ）硅光子市級(jí)重大專項(xiàng) * mm硅光中試平臺(tái)拓展和成套工藝開發(fā)晶圓自動(dòng)清洗系統(tǒng)和晶圓片噴霧清洗設(shè)備采購(gòu)項(xiàng)目

項(xiàng)目聯(lián)系人：趙麗莉

聯(lián)系方式： * - * - *** × *

* 、采購(gòu)單位信息

采購(gòu)單位名稱： (略) 上 (略)

采購(gòu)單位地址： (略) 市 (略) 區(qū)?？坡?* 號(hào)

采購(gòu)單位聯(lián)系方式：陳潔 ***

* 、項(xiàng)目用途、簡(jiǎn)要技術(shù)要 (略) 日期：

本次采購(gòu)貨物為：晶圓自動(dòng)清洗系統(tǒng)： * 臺(tái)/套，用于高溫氮化硅介質(zhì)膜熱生長(zhǎng)、 * 氧化硅介質(zhì)膜熱生長(zhǎng)工藝前的清洗，化學(xué)液包括DHF、SPM、SC1、SC2；晶圓片噴霧清洗設(shè)備： * 臺(tái)/套，用于干法刻蝕、離子注入去膠后的清洗，化學(xué)液包括DHF、SPM、SC1。

* 、采購(gòu)代理機(jī)構(gòu)信息

采購(gòu)代理機(jī)構(gòu)全稱： (略) 有限公司

采購(gòu)代理機(jī)構(gòu)地址：中國(guó) (略) 西路 * 號(hào)美麗園大廈 * 樓

采購(gòu)代理機(jī)構(gòu)聯(lián)系方式：趙麗莉 * - * - *** × *

* 、中標(biāo)信息

招標(biāo)公告日期： * 日

中標(biāo)日期： * 日

總中標(biāo)金額： * .0 萬元（人民幣）

中標(biāo)供應(yīng)商名稱、聯(lián)系地址及中標(biāo)金額：

本項(xiàng)目招標(biāo)代理費(fèi)總金額：5. * 萬元（人民幣）

本項(xiàng)目招標(biāo)代理費(fèi)收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)：

根據(jù)國(guó)家發(fā)改委 * 號(hào)文貨物類標(biāo)準(zhǔn)收費(fèi)下浮 * %后收取。

評(píng)審專家名單：

沈培堅(jiān)、談進(jìn)、張惠芬、張軒雄、李斌

中標(biāo)標(biāo)的名稱、規(guī)格型號(hào)、數(shù)量、單價(jià)、服務(wù)要求：

晶圓自動(dòng)清洗系統(tǒng)： * 臺(tái)/套；規(guī)格型號(hào)：Bpure-WE * AHF ： *** . * 元；

晶圓片噴霧清洗設(shè)備： * 臺(tái)/套；規(guī)格型號(hào)：Bpure-WC * ARC: *** . * 。

* 、其它補(bǔ)充事宜

溫馨提示：本招標(biāo)項(xiàng)目?jī)H供付費(fèi)會(huì)員查閱，您的權(quán)限不能瀏覽詳細(xì)信息,聯(lián)系工作人員辦理會(huì)員入網(wǎng)事宜，成為正式會(huì)員后方可獲取詳細(xì)的招標(biāo)公告、報(bào)名表格、項(xiàng)目附件及部分項(xiàng)目招標(biāo)文件等。
聯(lián)系人：郝工
電話：010-68960698
郵箱：1049263697@qq.com