一、微電子企業(yè)日常保潔特殊性

電子企業(yè)、微電子企業(yè)是當前對潔凈級別要求最高的企業(yè)，按照潔凈程度不同，可分為普通區(qū)域和受控潔凈區(qū)、潔凈室、氣閘室等。對普通區(qū)域的保潔，按照通常的寫字樓的要求 進行即可，而對于受控潔凈區(qū)、潔凈室、氣閘室等潔凈級別較高的區(qū)域就必須有相應的專業(yè)知識和相應的工藝技術才能做好保潔服務。下面，就受控潔凈區(qū)、潔凈室的日常保潔做一些 論述。

二、微電子企業(yè)潔凈室設計理念

（一）  潔凈室的基本概念

潔凈技術是通過工程技術方面的各種設施和嚴格管理，使室內微粒子含量、氣流、壓力等控制在一定范圍內，這種房間空間稱為潔凈室。

（二）  空氣中的微粒子

空氣中的微粒子有生物粒子和顆粒物，它們使微電子生產過程、制藥過程中產生靜電， 并且污染產品，造成產品的缺陷；在醫(yī)院手術室中的污染會導致手術失敗，危及生命。因此空氣中的微粒子是潔凈控制區(qū)主要的清除對象。電子企業(yè)的防靜電、防塵要求級別越高，空 氣中允許的微粒子含量就越低。下面我們就來認識一下空氣中的微粒子。

1.       生物粒子

(1)    細菌、藻類：藻類與其他微生物的不同之處在于，它能進行光合作用。藻類在污 染控制和潔凈室領域一般不是問題。

(2)    真菌類：在污染控制和潔凈室領域，真菌是第二大微生物污染源，并會成為一種 嚴重威脅。真菌與大多數(shù)細菌相比，對養(yǎng)分的要求更簡單，并能夠在沒有大量水的條件下生長。

(3)    病毒：病毒在微生物中處在很獨特的位置。因為按照一般所接受的概念，不能將 其分類為活的有機生物。它們的構造相當簡單，常常是由一層蛋白質內的單個DNA和RNA 分子組成，比微生物小得多。

(4)    原生物：由于原生物差不多總是與天然形成的水環(huán)境相關聯(lián)，所以它們在污染控 制和潔凈室領域無足輕重。

2.       顆粒物

顆粒物（particulate matter)又稱塵，是大氣中的固體或液體顆粒狀物質。顆粒物可分為一次顆粒物和二次顆粒物。一次顆粒物是由天然污染源和人為污染源釋放到大氣中直接造 成污染的顆粒物，例如土壤粒子、海鹽粒子、燃燒煙塵等。二次顆粒物是由大氣中某些污染氣體組分（如二氧化硫、氮氧化物、碳氫化合物等）之間，或這些組分與大氣中的正常組 分（如氧氣）之間通過光化學氧化反應、催化氧化反應或其他化學反應轉化生成的顆粒物，例如二氧化硫轉化生成硫酸鹽。

電子產品潔凈廠房對空氣潔凈度和各類雜質的控制有嚴格的要求。半導體集成電路制造是一種高科技制造技術，為了獲得微電子產品的高質量和高成品率，必須嚴格控制芯片缺 陷。而導致芯片缺陷的因素十分復雜，其污染源可能來自空氣中的粒子或加工過程中使用的各類工藝介質中的雜質、清洗用純水中的雜質以及工具等帶來的雜質污染等。生產環(huán)境控制 就是對與產品生產過程相關的各類污染物進行控制。其中，對生產環(huán)境中微粒的控制是十分重要的內容。當前45nm的極大規(guī)模集成電路已投人生產，要求潔凈室的空氣潔凈度控制在IS01級或IS02級，微粒粒徑控制在0.03 pm。隨著集成度的不斷提高、加工尺寸日益微細 化，集成電路生產過程不僅對空氣潔凈度等級提出越來越高的要求，也對整個產品生產過程中微粒的黏附、化學污染物、芯片的損傷等問題提出越來越高的要求。近年來的實踐表明， 帶人潔凈室或潔凈室產生的污染以及空氣中的NO、、SOt、Na+、Cl一等，超細玻璃纖維制品中的硼和DOP粒子，操作人員自身產生的NH4+、Na+等，潔凈室建造材料散發(fā)的各種有機 物、金屬離子等，生產過程使用溶劑、洗滌液散發(fā)的各種化學污染物等對生產過程都有很大的影響。

（三）  潔凈技術的運用

潔凈技術幫助人類實現(xiàn)了很多夢想，應用領域越來越廣，正發(fā)揮著越來越大的作用。

1.       微電子工業(yè)

微電子工業(yè)是當前對潔凈室要求最高工業(yè)潔凈業(yè)。此外，如現(xiàn)代工業(yè)中的液晶、光纖等的生產，同樣均有潔凈度的要求。

2.       醫(yī)藥工業(yè)、宇航工業(yè)、精密機械工業(yè)、儀器儀表工業(yè)、精細化學工業(yè)等，也要應用到潔凈技術。

3.       其他機構，如醫(yī)院、醫(yī)學試驗室等也需運用潔凈技術。

三、潔凈室綜合要求與原則

潔凈技術已在全國范圍內實施。微電子企業(yè)的生產環(huán)境提出了與工藝過程相對應的不同潔凈級別要求，限定了空氣中塵埃粒子的大小和含量；室內微粒子含量、氣流、壓力等也需 控制在一定范圍內，即要求在潔凈室中進行生產。

潔凈室是一項綜合性技術，作為一個合理的設計，不僅要考慮凈化空調裝置和設施，而且在設計潔凈室時，對于工程選址、工藝布置、典型的潔凈室人身凈化處理的流程，也必須 滿足以下基本要求。

（一）  潔凈室建筑要求

1.       環(huán)境條件

(1)        具有合理的人、材料、機械的流動路線。

(2)        工藝區(qū)域和維修區(qū)域劃分明確。

(3)        有防止外部環(huán)境對室內污染的手段。

2.       靈活性

(1)        適應工藝的發(fā)展與擴大。

(2)        工藝區(qū)域與維修區(qū)域有調整的可能。

(3)        建筑間隔的變更與潔凈空間有調整的可能性。

3.       安全性

(1)        安全通路的設計合理。

(2)        有毒藥物的存放安全。

4.       運轉條件

(1)        防止振動的設計要求合理。

(2)        防止噪聲的設計要求合理。

（二）  潔凈室設備的要求

1.       環(huán)境妻求

(1)        確保滿足空氣潔凈度的技術實施要求。

(2)        滿足溫濕度控制與潔凈度控制手段的一致性的要求。

(3)        能維持室內正壓要求，合理確定送、排風量。

(4)        發(fā)生有害氣體時能排放與處理。

(5)        能防止產生振動與噪聲。

2.       靈活性：滿足工藝發(fā)展的要求。

3.       安全性

(1)       產生廢品、廢氣的處理設施完備。

(2)       排煙設備、消防設備的設置與報警系統(tǒng)完善。

4.       運行條件

(1)       有無備用設備。

(2)       瞬間停電可防止產生不良后果。

(3)       維護維修方便。

（三）潔凈室設計綜合原則

1.       潔凈工程選址

(1)       周圍環(huán)境較清潔，綠化較好。

(2)       遠離鐵路、公路、機場（尤其是有防震要求的潔凈室更要遠離這些場所）。

(3)       若受條件限制，必須位于工業(yè)污染或灰塵較嚴重的地區(qū)，應處于全年最多風向的 上風側。

(4)       各區(qū)路面盡量選用堅固、起塵少的材料。

2.       工藝布置

(1)       在不影響生產情況下，應盡量將潔凈度要求相同的潔凈室安排在一起。

(2)       室內只布置必要的工藝設備，容易產生灰塵和有害氣體的工藝設備盡量布置在潔 凈室外部。

(3)       工藝用的易燃、易爆等氣體容器不要設在潔凈室內。

(4)       在同一潔凈室內，盡量將潔凈度要求高的工作布置在潔凈氣流首先到達的區(qū)域。

(5)       產生污染的工序，布置在靠近回、排風口的位置。

(6)       潔凈室的設備及家具采用光滑、不容易起塵的材料。

四、潔凈室日常管理和維護原則

1.       潔凈室有人員進入，潔凈度就會隨之而改變。人的外層皮膚不斷地向四周環(huán)境釋放粒子，之所以發(fā)生這一情況，是由于外皮細胞連續(xù)不斷地被新細胞替換。服裝與首飾等的摩 擦，會增加外皮釋放的粒子數(shù)量。由于人員工作時會有更多的活動，所以釋放的粒子數(shù)量也就隨著增加。

2.       人污染發(fā)生器，因為不可能把人完全密封在微過濾器中，也不可能給人塑造一個完整的空氣動力學的形狀，所以人總是對周圍的環(huán)境產生影響。在污染控制領域，化妝品常常 會造成問題。所以，潔凈室一般不允許人員使用化妝品。

3.       受控潔凈區(qū)及潔凈室都是禁止吸煙的。即使停止吸煙后，粒子仍會存留在氣管和肺中，并不停地從人體內向周圍空氣中散發(fā)。這就意味著吸煙的人是一個強大的粒子產生器。

4.       服務與維修人員的活動也會降低潔凈室的潔凈度，克服這個問題有兩種方法：一是將所有需要維修的物件全部放置到潔凈室外的服務區(qū)；二是如果設備無法移出潔凈室，就在 潔凈室內進行維修，但要求維修工作保持在最低程度。對進入潔凈室的服務人員，特別是那些從潔凈區(qū)之外進人潔凈室的人員，都應按正確的步驟進行培訓，以將污染可能降至最低。 氣流方式以及工藝產生又擴散開來的污染物，會影響工藝生產的結果。

5.       為保證人員、生產工藝與潔凈室之間的有效互動，既需要訓練有素的人員，又需要潔凈室的物流記錄，還需要寬敞的存儲區(qū)、寬大的擺放位置，及有序的潔凈設備存放區(qū)、寬敞的氣閘和更衣室。

五、潔凈室和潔凈區(qū)工作指南

（一）  一般要求

1.     注重手、指甲、臉部的清潔衛(wèi)生。人員衛(wèi)生極其重要。

2.      精心挑選設計精良的潔凈服裝系統(tǒng)，并以正確的方式穿著，以保證其整體的防護性能。

3.      進人潔凈室前必須清洗眼鏡并加以消毒，眼鏡的例行清洗很容易被忘記。

4.      應盡量保持部件與工具潔凈。

5.      工作只能在潔凈的表面上進行。

6.     禁止吸煙或使用鼻煙。與不吸煙者相比，吸煙者或使用鼻煙者會向空中多釋放出幾 百萬個粒子。

7.      潔凈室內不得梳頭，甚至不能碰頭發(fā)。

8.      室內一般不允許使用化妝品。所有化妝品都有粒子附著在皮膚上。如果說話、咳嗽、打噴嚏、觸摸一件物品，這些粒子就會從皮膚上掉落下來而成為污染物。

9.      禁止使用指甲油。因為指甲油比指甲硬，時間長了就會出現(xiàn)裂痕，塵埃與微生物就有可能藏身其中，并到處傳播。

10.     室內禁止佩戴首飾及手表。因為它們難以清洗，并可能造成污染。

11.     潔凈室內禁止吃喝，禁止咀嚼口香糖或糖果。

12.     不能把潔凈服提來提去，人員不能觸摸或翻動潔凈服。

13.     要避免一切不必要的活動。增加身體的活動會增加體表散發(fā)的粒子。人員不必要的活動會使周圍空氣形成渦流。

（二）  人員衛(wèi)生要求

1.     每個人員應對自己個人的清潔衛(wèi)生負責。

2.    人員是潔凈生產區(qū)主要的污染源之一。從人體脫落的表皮細胞是“死”粒子，但是 常常會沾有細菌及其他微生物，因此人員要避免接觸設備和產品。

3.    除定期進行盆浴或淋浴外，還應定期洗頭。

4.       手是一大污染源，手是將污染物從一個地方傳播到另一個地方的罪魁禍首之一。

5.      口腔也是一個主要的污染源，因此好的口腔衛(wèi)生至關重要。

（三）  與人相關的污染風險因素

1.     人員的選擇。

2.      人員的教育與培訓。

3.      潔凈室的安全要求。

4.      人員的行為和人員衛(wèi)生。

5.      人員健康狀況。

6.      進人潔凈室最低數(shù)量人員。

7.      最大占用程度（最大允許人員數(shù)量）。

8.      進出規(guī)則。

9.       人流進出潔凈室的通道。

（四）潔凈室工作一般規(guī)定

每個潔凈室必須有各自文件形式的規(guī)定及工作步驟。下面提到的一般性規(guī)定，適用于所 有的潔凈室，而不專門考慮在某一特定潔凈室內進行的特定工作步驟的具體特點。

1.     潔凈室內只能有必要人員。室內人員越多，污染水平越高。

2.      只允許經過培訓的人員在潔凈室工作，只有具備特定工作所需技能的人員，才允許進人潔凈室。

3.      不允許工作人員將任何可能產生污染的東西帶人潔凈室。只有潔凈室內工作所必須的物品，才允許帶人并且要采取防污染措施。

潔凈室內不允許有下述物品：

(1)       食品、飲料、糖果、口香糖。

(2)       瓶瓶罐罐（非用品）。

(3)       香煙、煙斗、鼻煙。

(4)       收音機、唱片機、袖珍錄音機。

(5)       用木材、橡膠、紙、皮革、棉花及其他天然材料制成的物品。

(6)       非潔凈室專用紙，包括報紙、雜志、書籍、紙巾。

(7)       鉛筆、橡皮及可釋放粒子的書寫用品，比如纖維筆。

4.     須隨手關門。開門會使室內壓力降低，這會造成潔凈室氣流的不良運動。

5.      開關門的動作都要慢?？焖訇P門會增加從潔凈程度較低區(qū)域流人潔凈室的空氣量。為控制開關門的速度，可以在門上安裝閉門器或彈簧。

6.      通過氣閘的兩扇門時，只有在第一道門完全關閉后，再打開第二道門。所謂的聯(lián)鎖裝置就是使兩道門不能同時打開。

7.      不通過更衣室就無法進人潔凈室。更衣室不僅僅用于更衣，它是潔凈程度較低的外部區(qū)域與潔凈程度較高的內部生產區(qū)域之間的緩沖區(qū)。不得使用像緊急出口一類的、可以從 生產區(qū)直接到達外部潔凈度較低區(qū)域的出口，這種出口可能會造成污染物從外部空氣到潔凈室內部空氣間的迅速轉移。

8.     潔凈室應永遠保持清潔整齊。不整齊的潔凈室絕不會潔凈。

9.      相對生產工藝而言，人員應處在正確的位置。比如，斜靠在產品上是不好的習慣，因為這會使?jié)崈舴系摹八馈绷Ｗ雍臀⑸锪Ｗ拥袈湓诋a品上及產品的周圍。在單向流中 工作的人員，不能直接坐在單向流中，因為這會使氣流將服裝內松散粒子吹落到空氣中。對潔凈室中采用的工作方法，事先認真作好計劃，才能使污染的風險降至最小。

10.    應認真考慮產品的移動方法，遙控操作方法較可取，因為它不需要搬運產品。潔凈室工作常常使用手套，但手套也可能成為污染源。

11-在潔凈室內移動物品時，不得使該物品與服裝或其他物品接觸。

12.    在靠近產品的位置工作時，應避免講話。即使使用面罩，從鼻和嘴散發(fā)出的粒子仍有穿過或繞過面具而接觸產品的危險。如果打噴嚏或咳嗽無法避免，就應當避開產品。打完 噴嚏或咳嗽完之后，應更新面罩。面罩應能把嘴鼻都罩住。

13.    避免接觸潔凈室的表面。即使?jié)崈羰冶旧硎菨崈舻?，潔凈室內的表面和設備表面仍可能是受到污染的。戴著手套的手要離開潔凈服，以降低污染手套的危險。

14.     應定期清洗潔凈室手套，以減少接觸和傳播污染物的風險。手套清洗可以使用經過

過濾的70%濃度的乙醇或異丙醇。這兩種酒精都可以使用，因為它們揮發(fā)后均無殘留物。

15.      潔凈室使用的抹布只能用一次或只能按事先定好的次數(shù)使用，并應在用完以后拋棄。用抹布進行清潔時，應使用擺動幅度大而直的動作，動作與動作之間沒有重疊。

16.      在潔凈室工作，應使用平穩(wěn)、認真考慮好的動作?？焖倭鑱y的動作會使室內懸浮粒子濃度大大增加。

17.      留在潔凈室內的產品應放在密封柜中或放在瓶內，以使物品或產品與污染物接觸的風險降至最小。最好的辦法是將其保存在層流工作臺或安全工作臺中。

18.      廢棄的物品應放人專門設計的容器內，然后定期移出室外。

19.      應使用合適的方法，對潔凈室進行潔凈，有的情況下還要對潔凈室進行消毒。

20.      進人潔凈室的人必須知道他的責任，并受過各種潔凈室專業(yè)技能的專門培訓，懂得潔凈室內所有系統(tǒng)的功能。

21.      發(fā)生重大事故時，比如潔凈室內外發(fā)生火災、爆炸、斷電等，所有人員應快速有序地行動。出現(xiàn)緊急情況，比如打破了有毒的或無毒的材料，有個別員工不適，或其他類似情 況等，員工都應知道應如何采取行動，并保持鎮(zhèn)定。

22.      進入潔凈室的人員，必須對其穿著的潔凈服有足夠的認知。

23.      所有在潔凈室工作的人員，不論其工作內容如何，必須穿著適當?shù)臐崈羰曳b。

24.      用于無菌生產的潔凈室滅菌工作服，未經洗滌和再滅菌不得再次使用。

25.      在滅菌區(qū)工作的人員，必須完全了解并遵守各種滅菌、消毒步驟。

26.      在潔凈室工作的人員，不得返回氣閘室。

27.      在氣閘室中，應放有塑料袋，可將潔凈服放人袋中以便隔離和運輸。這樣，就可以將用過的潔凈服輸送到洗滌區(qū)，而沒有污染產品或人員的危險。

28.      從整個系統(tǒng)的舒適性和有效性出發(fā)，決定一次可進入氣閘室人員的數(shù)量。

29.      錢包、手袋等個人物品不得帶人潔凈室或氣閘室。

30.      身體不適的人員，特別是腹部、鼻、喉嚨不適者，不應進人潔凈區(qū)。

31.      所有與潔凈室外人員的語言溝通，全部都要通過內線電話或內部通訊系統(tǒng)進行。決不能把氣閘室和通道當成潔凈室與生產區(qū)外溝通的通道。

32.      潔凈室內禁止使用化妝品，禁止佩戴戒指、首飾和表。

33.      將量杯、燒瓶及其他用品帶人潔凈室前，必須按照既定步驟進行清潔與滅菌。

34.      潔凈室內只能使用長纖維制作的抹布，目前使用最廣泛的是合成材料抹布。傳統(tǒng)的家用拖布、刷子及其他物品，決不能用于潔凈室，潔凈室要用一次性無塵布、無塵紙、一次 性帽子及口罩。

六、潔凈區(qū)衛(wèi)生操作流程及操作注意事項

進人潔凈區(qū)時必須嚴格按照更衣程序進行更衣、換鞋（不同區(qū)域的鞋子按規(guī)定擺放在相應的位置上）洗手消毒穿潔凈上衣和褲子、鞋套（先上后下），戴口罩（穿戴完畢 后，在鏡子面前整理著裝，確保頭發(fā)、胡須和里邊的衣服不外露）?-進人緩沖間，手部消毒潔凈區(qū)。

進出潔凈區(qū)時，應隨手關門，不能同時打開連通緩沖間和潔凈級別不同的通道，以免影響潔凈區(qū)內潔凈空氣的流通方式。在潔凈室工作時避免大聲喧嘩，禁止打鬧嬉戲；操作應輕 拿輕放，稱量物料須第二人復核，物料稱量配置后及時清理工作臺面，隨時保持工作區(qū)域的

衛(wèi)生清潔與整潔。

要加強對生產設備的養(yǎng)護工作，適時對設備轉動部件進行潤滑，進行電路檢查和易磨損部件檢查更換等，禁止對設備亂敲亂打或故意損壞設備。生產用的工器具和清潔用具應分類 使用，定點存放。清潔用具、抹布不能交叉混用，使用后清潔干凈統(tǒng)一存放在潔具間。工器具應集中在規(guī)定位置擺放，使用后清潔干凈及時放回原來位置上，時刻保持生產區(qū)域的整潔 有序。生產使用的各類記錄應在崗位明顯位置放置并分類，便于工作人員及時記錄并進行復核，生產結束后，記錄由崗位專人整理，負責人審核后交由相關部門人員存檔。

七、某電子企業(yè)保潔服務實例

某公司為某微電子企業(yè)做保潔服務，服務實際操作的部分內容如下：

該公司把潔凈級別較高的區(qū)域稱作特殊區(qū)域，特殊區(qū)域有：黃光區(qū)、灰區(qū)、一般潔凈區(qū)。特殊區(qū)域需要做的保潔服務工作內容與日常保潔的內容基本相同，但是專業(yè)儀器不讓保 潔員管和動。

其中，黃光區(qū)對人的眼睛有刺激作用，所以在工作時間上有特殊的待遇。進人黃光區(qū)持續(xù)時間約lh后，要休息0.5h，并佩戴專業(yè)眼鏡。

對保潔員沒有特殊的要求，但是必須按照甲方編制的管理文件培訓合格后，方能上崗進入潔凈區(qū)工作。

控制潔凈區(qū)衛(wèi)生標準要求極高，必須通過空氣測量儀評定達標狀況。為了確保潔凈區(qū)達到潔凈標準，保潔操作流程、操作工藝、保潔員工操作動作的特殊規(guī)定由甲乙雙方共同制 定，適應潔凈區(qū)的要求并能具體實施。

比如：潔凈室的地面要求員工用無塵布蹲著一塊一塊地擦，而且員工必須是往后退著擦，地面材料為環(huán)氧樹脂；潔凈室每天進行消毒，并規(guī)定了消毒的頻次和時間；設備管道都 必須定期保潔，不能有死角。

潔凈區(qū)和普通區(qū)域不同，按潔凈區(qū)的防靜電、防塵專業(yè)要求，潔凈室有專用吸塵器、專用服裝，不得用普通抹布，要用專用的一次性無塵布、無塵紙進行保潔操作，員工戴一次性 的專用帽子及口罩。

員工操作流程記錄、檢查記錄、交接班記錄指定專人管理，存放在指定地點。

由以上部分內容就可看出微電子企業(yè)的保潔要求有多么嚴格。